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潔凈室是指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓差、噪聲等參數(shù)都需要進行控制的密閉空間。許多精密加工行業(yè)、半導體、芯片、醫(yī)學手術室、電子設備、航天、制藥、生物實驗室行業(yè)等都需要潔凈室。比如醫(yī)學行業(yè)主要是為了防止病jun、細jun、灰塵對病人手術過程中造成感染;溫濕度對于精密儀器儀表產品的精確程度有很大影響。
半導體制造潔凈室對溫濕度的要求一般是溫度處于22-28℃ ,濕度在30-50 RH(%)之間。潔凈室運作過程中對相對濕度環(huán)境控制尤為常見。因為相對濕度會對潔凈室總體表現(xiàn)下降有較大影響,比如加速細jun繁殖;人體舒適感不佳,人的汗液可能污染半導體產品;出現(xiàn)靜電荷;加快金屬fu蝕生銹;水汽冷凝污染半導體表面的清潔度;光刻的退化;影響光刻膠附著能力等。
因此,對于半導體潔凈室的溫濕度控制尤為重要?,F(xiàn)在的半導體潔凈室系統(tǒng)都會嚴格控制溫濕度、空氣潔凈度和壓差程度等,在室內安裝不同的溫濕度傳感器、壓差傳感器等,做到實時監(jiān)測、實時控制。蘇州宏瑞凈化研發(fā)生產的溫濕度變送器傳感器、手持式溫濕度儀、壓差計等產品應用于各種生物實驗室、制藥車間、潔凈室的溫濕度監(jiān)測。
不同的潔凈室對于溫濕度的要求是不同的,主要是根據(jù)加工使用的產品本身的特性來考量。但是有一點,溫濕度不管在任何行業(yè),作為一個環(huán)境因素發(fā)揮著重要的影響力。我們總是運用各種手段進行溫濕度數(shù)據(jù)監(jiān)控,以便達到我們的理想狀態(tài)。
的介紹,我司作為自主研發(fā)生產30年的生產廠家,可按10萬級和100萬級等潔凈級別的半導體車間標準要求及國家GMP規(guī)范要求為電子、生物醫(yī)藥、醫(yī)院手術室、光纖光纜、食品飲料、精密儀器、半導體及新材料應用等行業(yè)提供全系列的檢測儀器和技術支持,如實時監(jiān)測時所需的“潔凈環(huán)境在線監(jiān)測系統(tǒng)",不定時檢測時的“風量罩"“壓差儀"“塵埃粒子計數(shù)器"“浮游菌采樣器"等。
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